美狮贵宾会手机app(欢迎您) 网站地图

槽式RCA清洗设备

产品中心 > 湿法设备系列 > 槽式RCA清洗设备

槽式RCA清洗设备

设备名称 Equipment Name

槽式RCA清洗设备 Batch-type RCA Cleaning Equipment

设备型号 Equipment Model

SC-CSZJ9600E-20F

设备用途 Equipment Application

用于扩散后的硅片去绕镀、清洗处理。
Used for wrap around removal & cleaning of the diffused silicon wafers.

工艺流程 Process Flow

去绕镀→后清洗→酸洗→后清洗→酸洗→预脱水→烘干 (供参考)  
Wrap Around Removal → Post-clean→ Acid Clean → Post-clean→Acid Clean→ Hot Water Drying → Drying (for reference)


技术特点  Features

1、产能:400片/批,9600片/小时(210硅片),480片/批,12000片/小时(182硅片)。
Throughput: 400pcs/batch, 9600pcs/h(210mm wafer),480pcs/batch, 12000pcs/h (182mm wafer).

2、支持多种添加剂技术。
Various additive technologies available.

3、支持最薄120μm硅片。
Wafer thickness down to 120μm.

4、洁净区域干燥,自洁净系统。
With dry clean area and self-cleaning system.

5、快速换液,在线换液。
Quick inline bath change.

6、支持MES、RFID及选配在线称重功能。
Available with MES, RFID system, inline weight testing optional.


设备参数 Parameters